はじめての半導体ドライエッチング技術 現場の即戦力 / 野尻一男 〔本〕
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発売日:2020年10月 / ジャンル:建築・理工 / フォーマット:本 / 出版社:技術評論社 / 発売国:日本 / ISBN:9784297115999 / アーティストキーワード:野尻一男
内容詳細:目次:１章 半導体集積回路の発展とドライエッチング技術/ ２章 ドライエッチングのメカニズム/ ３章 各種材料のエッチング/ ４章 ドライエッチング装置/ ５章 ドライエッチングダメージ/ ６章 新しいエッチング技術/ ７章 アトミックレイヤーエッチング（ＡＬＥ）/ ８章 ドライエッチング技術の今後の課題と展望
| 商品カテゴリ | |
|---|---|
| JAN/ISBNコード | 9784297115999 |
| 商品コード | 11177298 |
レビュー内容（口コミ）
ドライエッチングの初学者用に書かれた本…
2021/10/2
ドライエッチングの初学者用に書かれた本ですが、最新の技術動向にも触れられています。難解な数式もなく、文章も簡潔でわかりやすいです。空き時間に知識の再確認や補充をする上でもお勧めの本です。
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